本实用新型公开一种氧化镓晶体生长炉，包括炉体和升降机构，炉体内的功能组件将炉体的内腔分隔出生长腔和预热退火腔，升降机构包括坩埚和升降组件，升降组件能够带动坩埚进出生长腔和预热退火腔，以使坩埚内的物料能够在预热退火腔内进行预热，在生长腔内完成氧化镓晶体生长，生长完成的氧化镓晶体在预热退火腔内进行退火。本实用新型的生长炉采用生长腔和预热退火腔分隔开来的双腔结构，且功能组件能够散热状态和隔热状态之间进行切换，以适应氧化镓晶体生长和退火处理的不同温度需求，生长完成的氧化镓晶体在预热退火腔内进行原位退火，大幅减少了晶体位错。