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一种多弧磁控镀膜机的保护装置

发布时间:2025/8/8 10:26:02    阅读:

[实用新型] 一种多弧磁控镀膜机的保护装置

授权公告号:
CN223201905U
授权公告日:
2025.08.08
申请号:
2023219544539
申请日:
2023.07.24
专利权人:
温州驰诚真空机械有限公司
发明人:
赵中红;张晓东;赵中明
地址:
325000浙江省温州市龙湾区永兴街道兴腾路4号

摘要:

本实用新型涉及镀膜设备技术领域,尤其是涉及一种多弧磁控镀膜机的保护装置,用于阻隔镀膜筒体和镀膜筒盖内部的元器件,包括挡板和滑动组件,所述滑动组件包括第一导轨,所述第一导轨设置在镀膜筒体顶部的内缘,所述挡板上设有连接件,所述连接件远离挡板的一端伸入第一导轨,所述挡板通过连接件沿第一导轨往复运动,在镀膜机工作时,挡板可阻挡镀膜筒体和镀膜筒盖内的元器件与镀膜材料相接触,防止元器件受镀膜材料影响后失效,且挡板通过导轨可移动方便元器件的正常使用,本实用新型具有保护元器件稳定的优点。